特許

J-GLOBAL ID：200903049194365831

レジスト剥離液

発明者： 小島 和弘
出願人/特許権者： 株式会社ノリタケカンパニーリミテド ,  ノリタケ電子工業株式会社
代理人 (1件)： 池田 治幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-125769
公開番号（公開出願番号）：特開2002-323776
出願日： 2001年04月24日
公開日（公表日）： 2002年11月08日
要約：

【要約】【課題】環境負荷が低く且つ管理が容易な剥離液を提供する。【解決手段】水酸化ナトリウムおよびブチルセルソルブを含む水溶液で剥離液が構成されることから、そのブチルセルソルブによってレジスト26の溶解性が高められるため、単独ではレジスト26を溶解し得ないような低濃度のアルカリを用いてレジスト26を完全に剥離できる。そのため、剥離が確実なアルカリ濃度範囲の下限値が低くなることから、アルミニウム薄膜配線16を損傷しないように上限が定められる使用濃度範囲が拡大する。また、有機溶剤だけで剥離液を構成する場合に比較して、水酸化ナトリウム水溶液が含まれる割合に応じて、例えば10(%)程度に廃液中の有機溶剤量が少なくなる。

請求項（抜粋）：

無機アルカリを含むセルソルブ水溶液から成ることを特徴とするレジスト剥離液。

IPC (3件)：

G03F 7/42 ,  H01L 21/308 ,  H05K 3/06 ZAB

FI (3件)：

G03F 7/42 ,  H01L 21/308 G ,  H05K 3/06 ZAB C

Fターム (26件)：

2H096AA25 ,  2H096AA26 ,  2H096AA27 ,  2H096HA13 ,  2H096HA17 ,  2H096LA03 ,  5E339AA01 ,  5E339AB05 ,  5E339AB06 ,  5E339BC03 ,  5E339BD03 ,  5E339BD08 ,  5E339BE13 ,  5E339CC01 ,  5E339CC02 ,  5E339CD01 ,  5E339CE11 ,  5E339CE12 ,  5E339CE19 ,  5E339CF15 ,  5E339CG04 ,  5E339GG10 ,  5F043BB27 ,  5F043BB30 ,  5F043CC16 ,  5F043GG10