大域大気圧プラズマジェット

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：朝日奈宗太 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-612978
公開番号（公開出願番号）：特表2002-542586
出願日： 2000年04月21日
公開日（公表日）： 2002年12月10日
要約：

【要約】プラズマ放電を用いる装置10であって、13.56MhZの高周波電力を用いて大気圧およびほぼ室温で動作可能なものが開示される。この放電は、約300Wの印加電力で250°Cよりも熱くないガス相発散を生成し、はっきりした非熱的特性を呈する。この装置10は、2つの平坦で、平行な電極14であって、それらのあいだの容積にプラズマを発生するために採用された電極を含む。イオン化を制限するヘリウムを含むガスの混合物を用いること、速い流体速度を使用すること、および高周波電力印加電極を適切に隔離することによって、装置内でのアークの発生を防ぐ。

請求項（抜粋）：

大気圧のプラズマ放電から濃縮された反応種を含むガスジェットを発生する装置であって、(a)平坦で接地された導電壁と、閉封端と開口端を有するチャンバと、(b)前記平坦で接地されたチャンバの導電壁と平行に隔離して配置され、そこにひとつの容積を規定する平坦な導電性電極と、(c)前記容積にガスを流す手段と、(d)前記平坦な導電性電極に高周波電力を供給して、前記平坦な電極と平坦で接地されたチャンバの導電壁とのあいだに一様で連続的なプラズマ放電を発生させる高周波電力供給手段とを備え、プラズマ放電によるガス生成物をチャンバの開口端から大気圧で放出するガスジェット発生装置。

IPC (4件)：

H05H 1/24 , B01J 19/08 , H05H 1/46 , C23C 16/505

FI (4件)：

H05H 1/24 , B01J 19/08 E , H05H 1/46 M , C23C 16/505

Fターム (25件)：

4G075AA24 , 4G075AA30 , 4G075BC06 , 4G075BC10 , 4G075CA03 , 4G075CA25 , 4G075CA62 , 4G075CA63 , 4G075DA02 , 4G075EB43 , 4G075EC01 , 4G075EC21 , 4G075FB04 , 4G075FB06 , 4G075FB12 , 4G075FC11 , 4K030CA17 , 4K030DA03 , 4K030DA04 , 4K030EA04 , 4K030FA03 , 4K030JA09 , 4K030JA18 , 4K030KA15 , 4K030KA30

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