特許
J-GLOBAL ID:200903049194735752
放射線二次元検出器
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
杉谷 勉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-110399
公開番号(公開出願番号):特開平7-294644
出願日: 1994年04月25日
公開日(公表日): 1995年11月10日
要約:
【要約】【目的】 入射放射線を効率よく電気信号に変換することができるとともに、大口径化することも容易な薄型の放射線二次元検出器を提供する。【構成】 放射線が入射するターゲット構造体3は、基板11上に蛍光体12、ストライプ状の透明電極13、光導電膜14がその順に積層形成されている。光導電膜14を水平方向へ拡がった電子ビームeで一方向へ走査する電子ビーム走査機構4は、複数本の線陰極22と、選択された一つの線陰極22から電子ビームeを取り出すための背面電極21および垂直集束電極23と、垂直偏向電極24、加速電極25、減速電極26を含む。各透明電極13の電流変化を検出することにより、電子ビームeが入射した光導電膜14上の水平ラインに沿った電位分布が読み出される。
請求項(抜粋):
入射した二次元分布の放射線を二次元分布の電荷に変換するターゲット構造体と、前記ターゲット構造体の放射線入射面と反対側の面を電子ビームで走査することにより、前記ターゲット構造体に生じた二次元的な電位の分布を電気信号として読み出す電子ビーム走査機構とを備え、前記ターゲット構造体は、入射した二次元分布の放射線を二次元分布の電荷に変換する変換膜と、前記変換膜にほぼ等間隔に並設された複数本のストライプ電極とを含み、前記電子ビーム走査機構は、前記ターゲット構造体に対向するように前記ストライプ電極の長手方向にほぼ等間隔に並設された電子ビーム発生源としての複数本の線陰極と、前記複数本の線陰極の中の選択された一つの線陰極からのみ電子ビームを発生させ、その電子ビームを垂直方向に集束して前方へ押し出す、前記各線陰極に対応して設けられた複数個の電子ビーム取り出し電極と、前記取り出された電子ビームを垂直方向に偏向する、前記各線陰極に対応して設けられた複数個の垂直偏向電極と、前記垂直偏向電極を通過した電子ビームを前記ターゲット構造体の方向へ引き込む加速電極と、前記加速電極を通過した電子ビームをターゲット構造体の手前で減速させる減速電極と、を含むことを特徴とする放射線二次元検出器。
IPC (6件):
G01T 1/00
, G01T 1/29
, G03B 42/02
, H01J 31/49
, H04N 5/32
, H04N 7/18
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