特許

J-GLOBAL ID：200903049197033090

オプティカルインテグレータを備える照明光学装置

発明者： 山元 規彰
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 宮川 貞二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-013301
公開番号（公開出願番号）：特開平10-199800
出願日： 1997年01月09日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：

【要約】【課題】 不連続な変化を伴わずに光の強度を調節できる照明光学装置を提供する。【解決手段】 複数の光源像を形成するオプティカルインテグレータ123と;前記オプティカルインテグレータの光路に配置されて所定の広がりの光通過領域を有する光学フィルタ162とを備え;該フィルタの光通過領域は、連続的に光透過率が変化するように構成され;前記光路と重なる領域を前記光通過領域内で選択できるように構成されている照明光学装置。光学フィルタの光通過領域は連続的に光透過率が変化するように構成され、光学フィルタにおける装置の光路と重なる領域を前記光通過領域内で選択できるように構成されているので、選択する領域により光透過率が定まり、しかもその光透過率を時間的に連続的に変化させることができる。

請求項（抜粋）：

光源からの光に基づいて複数の光源像を形成するオプティカルインテグレータと;前記オプティカルインテグレータの前記光源側の光路に配置されて所定の広がりの光通過領域を有する光学フィルタとを備え;前記光学フィルタの光通過領域は、該光通過領域内において連続的に光透過率が変化するように構成され;前記光学フィルタにおける前記光路と重なる領域が、前記光通過領域の一部であり;前記光路と重なる領域を前記光通過領域内で選択できるように構成されていることを特徴とする;照明光学装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 515 D ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 527