特許
J-GLOBAL ID：200903049199262771
半導体加速度センサおよび製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩佐 義幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-122356
公開番号（公開出願番号）：特開平6-331647
出願日： 1993年05月25日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：
【要約】【目的】 半導体加速度センサの感度較正方法およびセンサ構成法を提供し、センサのパーフォーマンスを高める。【構成】 半導体加速度センサ内部にセンサ較正データ記録領域2を有し、較正データが蓄えられる。ここには感度、オフセット、各々の値の温度係数などが記録されている。このデータは半導体加速度センサシステム内にある信号処理回路1に導かれて、半導体加速度センサの較正演算に利用される。
請求項（抜粋）：
感度の値を記録した領域を有し、前記領域は電気信号によって、書換え可能であることを特徴とする半導体加速度センサ。
IPC (2件)：
引用特許：
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