特許

J-GLOBAL ID：200903049202498560

封止成形用集塵装置

発明者： 大塚 孝典 ,  細谷 秀明
出願人/特許権者： 筑波精工株式会社
代理人 (1件)： 西脇 民雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-024128
公開番号（公開出願番号）：特開平9-219414
出願日： 1996年02月09日
公開日（公表日）： 1997年08月19日
要約：

【要約】【課題】 封止成形材料の供給部から封止成形装置内に粉塵を持ち込まないように集塵する封止成形用集塵装置を提供する。【解決手段】 本発明に係わる封止成形用集塵装置は、封止樹脂粉体材料よりタブレット状に形成されたタブレット28を、封止成形装置4に装着された金型5に供給するタブレット供給部22において、該供給部22として配設された各装置の適宜な位置に複数の吸気口22dを設けると共に、該吸気口22dと連通する集塵装置23を設けた。

請求項（抜粋）：

封止樹脂粉体材料よりタブレット状に形成されたタブレットを、封止成形装置に装着された金型に供給するタブレットの供給部において、該供給部として配設された各装置の適宜な位置に複数の吸気口を設けると共に、該吸気口と連通する集塵装置を設けたことを特徴とする封止成形用集塵装置。

IPC (3件)：

H01L 21/56 ,  H01L 21/304 341 ,  B29C 31/00

FI (3件)：

H01L 21/56 T ,  H01L 21/304 341 Z ,  B29C 31/00