特許
J-GLOBAL ID:200903049206535797

ウオールジエツト型電気化学的検出器およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山川 政樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-278911
公開番号(公開出願番号):特開平5-093705
出願日: 1991年10月01日
公開日(公表日): 1993年04月16日
要約:
【要約】【目的】 高い検出感度を得る。【構成】 表面に酸化シリコン酸化膜1を形成したシリコンウエハ2上に複数の同心円状の薄膜電極からなる同心円状マルチリング作用電極5(図示されない),同心円状マルチリング作用電極6が微小間隔によって分離されて形成され、同心円状マルチリング作用電極5上にピロール重合膜9が被覆されている。
請求項(抜粋):
少なくとも2つの同心円状電極からなり、前記同心円状電極の少なくとも一方の一部が触媒作用または酸化還元作用を有する物質で被覆されていることを特徴とするウォールジェット型電気化学的検出器。
IPC (2件):
G01N 27/30 ,  G01N 27/327

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