特許
J-GLOBAL ID:200903049206650677
機能素子及びその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
小栗 昌平
, 本多 弘徳
, 市川 利光
, 高松 猛
, 濱田 百合子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-197532
公開番号(公開出願番号):特開2006-049874
出願日: 2005年07月06日
公開日(公表日): 2006年02月16日
要約:
【課題】 光電変換特性や発光効率の良好な機能素子及びその製造方法を提供すること。【解決手段】 基板213上に、第一電極膜214と、第一電極膜214に対向する第二電極膜205,206と、第一電極膜214と第二電極膜205,206の間に配置された機能膜207,208,209,210と、第一電極膜214及び第二電極膜205,206に電位を与える配線218と、を有する機能素子であって、第二電極膜205上に機能層の側壁を覆うように形成された第一絶縁膜204と、第一絶縁膜204内に第二電極膜まで貫通して形成され、第二電極膜接続用の配線218が内部に延設されたコンタクトホールと、を備えた。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
基板上に、第一電極膜と、該第一電極膜に対向する第二電極膜と、前記第一電極膜と前記第二電極膜の間に配置された機能膜と、前記第一電極膜又は前記第二電極膜に電位を与える配線と、を有する機能素子であって、
前記第二電極膜上に前記機能層の側壁を覆うように形成された第一絶縁膜と、
前記第一絶縁膜内に前記第二電極膜まで貫通して形成され、前記第二電極膜接続用の前記配線が内部に延設されたコンタクトホールと、を備えたことを特徴とする機能素子。
IPC (6件):
H01L 27/146
, H05B 33/10
, H01L 51/50
, H05B 33/22
, H05B 33/28
, H01L 31/10
FI (6件):
H01L27/14 E
, H05B33/10
, H05B33/14 A
, H05B33/22 Z
, H05B33/28
, H01L31/10 A
Fターム (32件):
3K007AB18
, 3K007BA06
, 3K007CB01
, 3K007DB03
, 3K007EA00
, 3K007FA00
, 4M118AB01
, 4M118BA07
, 4M118BA08
, 4M118CA14
, 4M118CA20
, 4M118CA32
, 4M118CB05
, 4M118CB14
, 4M118DB08
, 4M118EA01
, 4M118EA14
, 4M118FA26
, 4M118FA38
, 4M118GB02
, 4M118GB11
, 4M118GC07
, 4M118HA30
, 5F049MA02
, 5F049MB08
, 5F049NB05
, 5F049SE04
, 5F049SZ01
, 5F049SZ10
, 5F049SZ11
, 5F049UA01
, 5F049WA03
引用特許:
出願人引用 (5件)
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特開昭58-103165号公報
-
イメージセンサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-271555
出願人:日本放送協会
-
有機半導体製画像センサ
公報種別:公表公報
出願番号:特願2000-529741
出願人:ユニアックスコーポレイション
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