特許
J-GLOBAL ID:200903049207278577
酸化亜鉛単結晶の育成方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
渡邉 一平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-278542
公開番号(公開出願番号):特開平6-128088
出願日: 1992年10月16日
公開日(公表日): 1994年05月10日
要約:
【要約】【目的】 a軸のみならずc軸方向にも大きなZnO単結晶を育成し、育成効率の向上したZnO単結晶の育成方法を提供する。【構成】 ZnO単結晶を水熱条件下で育成する。種結晶を複数個用い、これら種結晶のc軸極性を合致させ、エピタキシーを利用して水熱条件下で種結晶同士を接合する。【効果】 水熱条件下では、ZnO種結晶はa軸方向に選択的に成長するので、c軸及びa軸の双方の方向に大きなZnO単結晶が得られる。
請求項(抜粋):
ZnO単結晶を水熱合成法を用いて育成するに当たり、複数の種結晶のc面同士を、c軸極性を合致させて当接させ、しかる後、水熱条件下で育成することを特徴とするZnO単結晶の育成方法。
IPC (2件):
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