特許
J-GLOBAL ID:200903049209392164

撮像素子の冷陰極アレイ駆動方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高橋 明夫 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-068827
公開番号(公開出願番号):特開2000-268752
出願日: 1999年03月15日
公開日(公表日): 2000年09月29日
要約:
【要約】【課題】冷陰極アレイのカソード電極とゲート電極との間に電圧を印加するための駆動電圧発生回路として高耐圧回路が不要となり、微細で信頼性の高い駆動回路を具備する撮像素子の冷陰極アレイ駆動方法を提供する。【解決手段】光電変換ターゲットと、X軸方向およびY軸方向に複数配置した冷陰極を備える冷陰極アレイとを有する撮像素子の冷陰極アレイ駆動方法であって、冷陰極アレイが備えるカソード電極とゲート電極との間に所要の電圧を印加して冷陰極から光電変換ターゲットへ電子ビームを放出する撮像素子の冷陰極アレイ駆動方法において、カソード電極に、冷陰極の電位となる所定の電位を基準とする所要の電圧を、所要の軸方向へ所要の順序で印加し、ゲート電極に、カソード電極に印加される電圧と逆極性の所定の電位を基準とする所要の電圧を、カソード電極に電圧を印加している軸方向と他方の軸方向へ所要の順序で印加し、カソード電極とゲート電極との間の電位差が所定値を越え大きくなったときのみ、所要の電圧が印加されたゲート電極と対応する冷陰極から電子ビームが放出されるようにした。
請求項(抜粋):
入射する光学像を光電変換する光電変換ターゲットと、該光電変換ターゲットと所要の間隔で対向して、X軸方向およびY軸方向に複数配置した冷陰極を備える冷陰極アレイとを有する撮像素子の冷陰極アレイ駆動方法であって、前記冷陰極アレイが備えるカソード電極とゲート電極との間に所要の電圧を印加して前記冷陰極から前記光電変換ターゲットへ電子ビームを放出する撮像素子の冷陰極アレイ駆動方法において、前記カソード電極に、前記冷陰極の電位となる所定の電位を基準とする所要の電圧を、所要の軸方向へ所要の順序で印加し、前記ゲート電極に、前記カソード電極に印加される電圧と逆極性の所定の電位を基準とする所要の電圧を、前記カソード電極に電圧を印加している軸方向と他方の軸方向へ所要の順序で印加し、前記カソード電極と前記ゲート電極との電位差が所定値を越え大きくなったときのみ、所要の電圧が印加された前記ゲート電極と対応する冷陰極から電子ビームが放出されるようにしたことを特徴とする撮像素子の冷陰極アレイ駆動方法。
IPC (2件):
H01J 31/38 ,  H04N 5/30
FI (2件):
H01J 31/38 Z ,  H04N 5/30
Fターム (7件):
5C024AA01 ,  5C024CA00 ,  5C024FA03 ,  5C024JA04 ,  5C037AA01 ,  5C037AB08 ,  5C037AB23

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