特許
J-GLOBAL ID：200903049209735541
洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-287876
公開番号（公開出願番号）：特開平7-136603
出願日： 1993年11月17日
公開日（公表日）： 1995年05月30日
要約：
【要約】【目的】 水の再利用を洗浄装置内で行うことによりコストを低減する。【構成】 水分濃度測定器24は、洗浄槽8、9における洗浄液中の水分濃度を測定する。濃度の低下を検出すると、制御器25はバルブ28a、bを開けて、第1すすぎ槽10のすすぎ水を補給水として洗浄槽8、9に補給する。すすぎ水は、この補給により水量が徐々に低下するので、最終すすぎ槽13に純水を供給することによりその低下分の水量を補う。
請求項（抜粋）：
水分を含む洗浄液と洗浄後のすすぎ水を使用する洗浄装置において、該洗浄液中の水分濃度を測定する手段と、該水分濃度が所定値以下のとき、前記すすぎ水を前記洗浄液に補給する手段と、該補給によるすすぎ水の減少分を水で補給する手段を備えたことを特徴とする洗浄装置。
引用特許：
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