特許
J-GLOBAL ID：200903049218261803
銅のソフトエッチング液
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-341248
公開番号（公開出願番号）：特開平5-171469
出願日： 1991年12月24日
公開日（公表日）： 1993年07月09日
要約：
【要約】【目的】安定性が良く、常に均一なエッチングができ、且つ無電解めっき方式がカゴ式の場合の治具に吸着したPdが溶出されても、エッチング外観が常にピンク色を保てるソフトエッチング液を提供すること。【構成】本発明のソフトエッチング液は、硫酸、過酸化水素の水溶液にフェノール酸類とPd錯化剤及び非イオン界面活性剤から成ること.
請求項（抜粋）：
硫酸、過酸化水素の水溶液であって、フェノール酸類とPd錯化剤及び非イオン界面活性剤から成ることを特徴とする銅のソフトエッチング液。
IPC (3件)：
C23F 1/18
, C23C 18/26
, H05K 3/18
