特許
J-GLOBAL ID：200903049231968029
イオン加速装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-026259
公開番号（公開出願番号）：特開平6-215712
出願日： 1993年01月20日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】加速管への加速電圧を広範囲に変化させても、集束レンズでイオンビームで試料上に集束させることが容易になると共に、加速管と集束レンズとを通過するイオンビームを平行にして、これらとの衝突によるイオン電流値の減少を防止できるイオン加速装置を提供する。【構成】イオン源3より引き出されたイオンビームを質量分離磁石4で質量分析してからスリット5を通過させ、そのスリットを通過したイオンビームを加速管6で加速してから集束レンズ9で集束し、その集束したイオンビームを試料11に照射するイオン加速装置において、スリットと加速管との間に静電気または磁気を用いた多段のQレンズ30を配置し、この多段のQレンズによるレンズ作用を、スリットを通過したイオンビームに及ぼす。
請求項（抜粋）：
イオン源より引き出されたイオンビームを質量分離磁石で質量分析してからスリットを通過させ、そのスリットを通過したイオンビームを加速管で加速してから集束レンズで集束し、その集束したイオンビームを試料に照射するイオン加速装置において、前記スリットと加速管との間に静電気または磁気を用いた多段のQレンズを配置し、この多段のQレンズによるレンズ作用を、前記スリットを通過したイオンビームに及ぼすことを特徴としたイオン加速装置。
IPC (4件)：
H01J 37/08
, C23C 14/48
, H01J 37/317
, H01L 21/265
