特許

J-GLOBAL ID：200903049234534429

ガスレ-ザ装置

発明者： 後藤 達美 ,  柿崎 弘司 ,  實野 孝久
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-243744
公開番号（公開出願番号）：特開平5-082879
出願日： 1991年09月24日
公開日（公表日）： 1993年04月02日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】この発明は、放電空間部において主放電を均一に点弧できるようにしたガスレ-ザ装置を提供することを目的とする。【構成】気密容器11の通路12に設けられガスレ-ザ媒質を循環させる送風機13と、通路にガスレ-ザ媒質の流れ方向と交差する方向に沿って設けられた主放電電極18と、この主放電電極18にパルス高電圧を印加して主放電空間に所定の繰り返し数で主放電を発生させる放電駆動回路と、送風機13の吐出側と主放電電極18との間に主放電電極18の長手方向ほぼ全長に対応して設けられ主放電空間に流入する前のガスレ-ザ媒質をフォトンを介さず電気的放電により直接的に予備電離する高周波電極21と、予備電離されたガスレ-ザ媒質が放電空間に流入したときに主放電電極18にパルス高電圧を印加する同期制御部とを具備したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ガスレ-ザ媒質が封入されているとともにこのガスレ-ザ媒質が循環するル-プ状の通路を有する気密容器と、上記通路に設けられ上記ガスレ-ザ媒質を循環させる送風手段と、上記通路に上記ガスレ-ザ媒質の流れ方向と交差する方向に沿って設けられ主放電が点弧される主放電空間を形成した主放電電極と、この主放電電極に接続され主放電電極にパルス高電圧を印加して上記主放電空間に所定の繰り返し数で主放電を点弧させる放電駆動回路と、上記送風機の吐出側と上記主放電電極との間に上記主放電電極の長手方向ほぼ全長に対応して設けられ上記主放電空間に流入する前のガスレ-ザ媒質をフォトンを介さず電気的放電により直接的に予備電離する予備電離手段と、この予備電離手段により予備電離されたガスレ-ザ媒質が上記放電空間に流入したときに上記放電駆動回路により上記主放電電極にパルス高電圧を印加させる同期手段とを具備し、上記予備電離手段は予備電離したガスレ-ザ媒質が上記循環の流れにおいて上記主放電空間に所定の荷電粒子密度状態で流入される箇所に位置していることを特徴とするガスレ-ザ装置。

IPC (3件)：

H01S 3/097 ,  H01S 3/038 ,  H01S 3/0977

FI (3件)：

H01S 3/097 A ,  H01S 3/03 B ,  H01S 3/097 E

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-018781
  
• 特開昭49-075093