特許
J-GLOBAL ID:200903049235180710

弾性表面波素子、弾性表面波素子を用いた電気信号処理装置、及び電気信号処理装を用いた環境評価装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦 (外5名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-311788
公開番号(公開出願番号):特開2003-115743
出願日: 2001年10月09日
公開日(公表日): 2003年04月18日
要約:
【要約】【課題】結晶材料の基材を用いた弾性表面波素子、弾性表面波素子を用いた電気信号処理装置、及び電気信号処理装置を用いた環境評価装置を提供する。【解決手段】球状の水晶の基材210のZ軸を地軸として、赤道上の経路aに沿って円環状表面211が形成されている。円環状表面211には櫛形電極223が対向している。発信器226から入力信号が櫛形電極223に入力されると円環状表面211に沿って伝搬する弾性表面波が励起される。この弾性表面波に応じた出力信号がディジタルオシロスコープ228に入力される。混合周波数をもつ入力信号を入力すると特定の周波数成分が出力される。基材210を加湿すると出力信号の出力が小さくなる。
請求項(抜粋):
少なくとも球面の一部で形成されていて円環状に連続している円環状表面を有しており、単結晶で形成されている基材と、前記円環状表面に沿って伝搬する弾性表面波を励起する弾性表面波励起手段とを備えていることを特徴とする弾性表面波素子。
IPC (4件):
H03H 9/145 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H03H 9/25
FI (4件):
H03H 9/145 C ,  H03H 9/25 C ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/18 101 A
Fターム (6件):
5J097AA23 ,  5J097BB01 ,  5J097CC15 ,  5J097DD04 ,  5J097EE01 ,  5J097EE08
引用特許:
審査官引用 (1件)
引用文献:
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