特許
J-GLOBAL ID：200903049237968675
描画装置用ステージ駆動装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 武彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-092451
公開番号（公開出願番号）：特開平7-290892
出願日： 1994年04月28日
公開日（公表日）： 1995年11月07日
要約：
【要約】【目的】 描画ヘッドにより処理平面に配置される描画点の位置決めを高精度に行う。【構成】 ステージ駆動装置は、処理平面7を有するYステージ5と、処理平面7上に描画点8を構成する描画ヘッドとを備えた描画装置用のものである。この装置では、Yステージ7がY軸方向及びそれと直交するX軸方向に駆動される。そして、Yステージ真直誤差センサー21による検出結果に基づいて、Yステージ5の移動量が修正される。ここで、Yステージ真直誤差センサー21の測定方向は、描画点8を通りかつX軸方向である。
請求項（抜粋）：
処理平面を有する第1ステージと、前記処理平面上に描画点を構成する描画部とを備えた描画装置のステージ駆動装置であって、第1方向に前記第1ステージを駆動する第1駆動部と、前記第1方向と直交する第2方向に前記第1ステージを駆動する第2駆動部と、前記描画点を通りかつ前記第2方向に平行な直線上における前記第1ステージの変位量を検出する第1真直誤差センサと、前記第1真直誤差センサの検出結果に基づいて、前記第1駆動部及び前記第2駆動部による前記第1ステージの移動量を修正する第1修正手段と、を備えた描画装置用ステージ駆動装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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