特許
J-GLOBAL ID：200903049239745177
シャワー型枚葉式現像装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-043732
公開番号（公開出願番号）：特開平6-260412
出願日： 1993年03月04日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：
【要約】【目的】現像液の乾燥むらを防止しながらもワークによる現像液の持ち出し量を極力少なくすることにより、コストメリットを充分に引き出す。【構成】現像処理室aにワークwを通し現像液シャワーノズル4から現像液を噴霧してワークwを現像処理する。現像液は現像処理室aから現像液タンク1に還流し繰り返し使用する。現像処理室aから搬出されたワークwはN2 ナイフ7で現像液の液切りが行われる。水洗室cに至るまでのニュートラルbにおいて液切りの瞬間から高速搬送して現像ストップ水洗ノズル17に1秒以内に到達させ、現像ストップ水洗ノズル17からの純水噴射により液切り後の現像液の凹凸を平坦化するとともに現像を強制的にストップさせる。
請求項（抜粋）：
ワークに対して現像液を噴霧する現像液シャワーノズルを設けた現像処理室と、この現像処理室の出口近傍でワーク上の現像液の液切りを行うガス流ナイフと、液切り乾燥後のワークに対して洗浄液を噴射する洗浄液シャワーノズルを設けた水洗室と、前記現像処理室と前記水洗室との間に形成され前記ガス流ナイフを配置しているニュートラルとを備えたシャワー型枚葉式現像装置において、前記ニュートラルの部分に前記液切り直後のワークに対して純水噴射により現像強制停止を行う現像ストップ水洗ノズルを配置してあることを特徴とするシャワー型枚葉式現像装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/30 501
