特許

J-GLOBAL ID：200903049240810284

接着テープ付き研磨パッド及び研磨パッド接着方法

発明者： 箱守 駿二
出願人/特許権者： スピードファム株式会社
代理人 (1件)： 塚原 孝和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-336346
公開番号（公開出願番号）：特開平11-151661
出願日： 1997年11月20日
公開日（公表日）： 1999年06月08日
要約：

【要約】【課題】 研磨パッドの定盤への接着の際に接着テープと定盤との間に侵入した空気を自動的に抜くことができ、しかも、研磨パッド接着作業を容易に行うことができる接着テープ付き研磨パッド及び研磨パッド接着方法を提供する。【解決手段】 通気性を有する研磨パッド本体2と研磨パッド本体2の一面全体に接着された接着テープ3とを備えている。そして、接着テープ3には、空気を通気させる多数の通気部4が均一に穿設されている。これにより、接着テープ3と定盤との間に侵入した空気を通気部4と研磨パッド本体2とを介して外部に逃がす。

請求項（抜粋）：

通気性を有する研磨パッド本体と、上記研磨パッド本体の一面全体に接着された接着テープとを有する接着テープ付き研磨パッドにおいて、空気が接着テープの一面側から他面側に通気可能な複数の通気部を、接着テープ全体に均一に設けた、ことを特徴とする接着テープ付き研磨パッド。