特許
J-GLOBAL ID：200903049242185000
基板検査装置及びその基板検査方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松村 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-069656
公開番号（公開出願番号）：特開2004-279163
出願日： 2003年03月14日
公開日（公表日）： 2004年10月07日
要約：
【課題】局所真空技術を用いることにより、被検査基板の良否を非常に安価に検査できる基板検査装置及びその基板検査方法を得ること。【解決手段】本発明の一実施形態の基板検査装置10Aは、主チャンバー部30の下部に局所真空チャンバー部50が取り付けられており、その楕円形盤体52の中央部にスリット状開口部51が、その周辺に差動真空手段53が、更に、その周辺に静圧浮上手段60が設けられていて、静圧浮上手段60から大気中の被検査基板電極Pの表面にエアを噴射して、局所真空チャンバー部50を僅かに浮上させながら、差動真空手段53及び開口部51からエアを吸気し、主チャンバー部30及び局所真空チャンバー部50内を高真空に維持できるように構成されている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
主チャンバー部と、
該主チャンバー部の一端部分に配設され、電子ビームを放射する電子銃部と、該電子銃部から出射した電子ビームの経路が形成されており、前記主チャンバー部の他端部に前記電子ビームの経路方向に伸縮する伸縮部材を介して接続され、前記電子銃部側とは反対側の端部に微細なスリット状開口が形成されている局所真空チャンバー部と、
該局所真空チャンバー部に接続され、その内部のエアを吸気する主真空手段と、
前記局所真空チャンバー部内に臨んで配設されている二次電子検出器と、
前記局所真空チャンバー部の端部に、前記スリット状開口部の近接周辺部に同心的に形成された複数の吸気溝と該吸気溝に接続されている副真空手段とからなる差動真空手段と、
前記複数の吸気溝の外周に沿って形成されたエア噴出口からなる、前記局所真空チャンバー部を浮上させる静圧浮上手段と
を具備して構成されていることを特徴とする基板検査装置。
IPC (4件)：
G01N23/225
, H01J37/18
, H01J37/28
, H05K3/00
G01N23/225
, H01J37/18
, H01J37/28 B
, H05K3/00 T
2G001AA03
, 2G001BA07
, 2G001CA03
, 2G001GA06
, 2G001GA09
, 2G001JA07
, 2G001JA14
, 2G001JA20
, 2G001KA03
, 2G001LA11
, 2G001MA05
, 2G001PA07
, 2G001PA11
, 2G001QA01
, 2G001QA10
, 2G001SA01
, 5C033KK09
, 5C033UU02
, 5C033UU03
