特許
J-GLOBAL ID：200903049243387951
微量有機化合物分析方法及び装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 三雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-088105
公開番号（公開出願番号）：特開平5-256842
出願日： 1992年03月12日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 シリコンウエハー等に付着乃至含まれる微量有機化合物の分析が出来る。【構成】 電気炉3を流量コントローラー1を介しキャリヤー通路に連通する。電気炉3にキャリヤー流通可能にする。バルブオーブン6のトラップ管47と電気炉3及びTCT7と連通自在にし、トラップ管47にトラップした有機化合物を脱着してTCT7でクライオフォーカスし、これをキャピラリーカラム8、検出器9等にて構成されるガスクロマトグラフに導入分析する。
請求項（抜粋）：
試料を炉中にて高温加熱することにより有機化合物を脱着させ、トラップ管に濃縮させると共に、トラップ管の加熱により有機化合物を脱着させ、TCTに送ってクライオフォーカスさせた後、ガスクロマトグラフに導入し分析することを特徴とする微量有機化合物分析方法。
IPC (3件)：
G01N 30/88
, G01N 30/06
, G01N 30/08
