エネルギー線照射によりカチオンまたは酸を発生するフルオロアルキルオニウム塩型のカチオンまたは酸発生剤

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：朝日奈宗太 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-068241
公開番号（公開出願番号）：特開2001-255647
出願日： 2000年03月13日
公開日（公表日）： 2001年09月21日
要約：

【要約】【課題】化学増幅型レジスト材料に好適な、エネルギー線に高感度でカチオンまたは酸を発生できるカチオンまたは酸発生剤を提供する。【解決手段】式(1):【化1】で示されるR1〜R3(アルキル基またはアリール基など)およびRf(フルオロアルキル基)が中心元素A(ヨウ素、硫黄、セレン、テルル、窒素またはリン)に結合したエネルギー線感応型フルオロアルキルオニウム塩からなるカチオンまたは酸発生剤、および該酸発生剤を配合してなる化学増幅型レジスト材料。

請求項（抜粋）：

エネルギー線照射によりカチオンまたは酸を発生する、式(1):【化1】(式中、Aはヨウ素、硫黄、セレン、テルル、窒素またはリンから選ばれる元素であり;Aがヨウ素の場合は、R2およびR3は存在せず、R1は炭素数1〜15のアルキル基または炭素数6〜15のアリール基であり;Aが硫黄、セレンまたはテルルの場合は、R3は存在せず、R1およびR2はそれぞれ独立して、炭素数1〜15のアルキル基、炭素数6〜20のアリール基、炭素数2〜30のジアルキルアミノ基、炭素数7〜35のアルキルアリールアミノ基または炭素数12〜40のジアリールアミノ基であり、R1とR2は互いに結合して環を形成していてもよい;Aが窒素またはリンの場合は、R1、R2およびR3はそれぞれ独立して、炭素数1〜15のアルキル基、炭素数6〜20のアリール基、炭素数2〜30のジアルキルアミノ基、炭素数7〜35のアルキルアリールアミノ基または炭素数12〜40のジアリールアミノ基であり、R1とR2とR3はそれぞれ互いに結合して1つ以上の環を形成してもよく、またはR3は存在せず、R1とR2が結合してAを含む芳香族環を形成してもよい;ただし、前記アルキル基、ジアルキルアミノ基のアルキル基およびアルキルアリールアミノ基のアルキル基は、アリール基、ハロゲン原子、酸素原子、窒素原子、硫黄原子またはケイ素原子で置換されていてもよく分岐していてもよく環を形成していてもよく、前記アリール基、アルキルアリールアミノ基のアリール基およびジアリールアミノ基のアリール基は、アルキル基、ハロアルキル基、ハロゲン原子、アルコキシル基、アリールオキシ基、ニトロ基、アミド基、シアノ基、アルカノイル基、アロイル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基またはアシルオキシ基で置換されていてもよい;Rfは分岐していてもよく環を形成していてもよい炭素数1〜15のペルフルオロアルキル基または該ペルフルオロアルキル基のフッ素の一部が水素で置換されたものであり;X-はブレンステッド酸の共役塩基である)で表されるフルオロアルキルオニウム塩型のカチオンまたは酸発生剤。

IPC (12件)：

G03F 7/004 503 , C07C 19/16 , C07C381/12 , C07F 9/54 , C08K 5/00 , C08L101/00 , C09K 3/00 , G03F 7/038 601 , G03F 7/039 601 , H01L 21/027 , C07D333/46 , C07D333/54

FI (12件)：

G03F 7/004 503 A , C07C 19/16 , C07C381/12 , C07F 9/54 , C08K 5/00 , C08L101/00 , C09K 3/00 K , G03F 7/038 601 , G03F 7/039 601 , C07D333/46 , C07D333/54 , H01L 21/30 502 R

Fターム (23件)：

2H025AA01 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025AD03 , 2H025BE07 , 2H025BG00 , 2H025CB52 , 2H025CC20 , 4H006AA03 , 4H006AB80 , 4H006EA02 , 4H006TA04 , 4H006TB14 , 4H050AA03 , 4H050AB76 , 4H050AB80 , 4H050AB99 , 4J002AA001 , 4J002EB106 , 4J002EV176 , 4J002EV296 , 4J002FD206

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