特許

J-GLOBAL ID：200903049246888005

ITO焼結体の製造方法

発明者： 飯田 恵一 ,  佐々木 丈夫 ,  高階 啓幸
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-282806
公開番号（公開出願番号）：特開平9-124363
出願日： 1995年10月31日
公開日（公表日）： 1997年05月13日
要約：

【要約】【課題】 緻密かつ低抵抗で均一組成を有し、内部歪のないITO焼結体を製造する。【解決手段】 SnCl4 水溶液にIn2 O3 微粉体を分散させた液をZrO2ビーズ5を媒体とする媒体攪拌型分散機内に収容し、媒体攪拌型分散機1を作動状態でNH3 水を添加し、In2 O3 微粉体の表面にSn(OH)4 を析出させる。この粒子を回収して成形、焼成する。【効果】 Sn(OH)4 (SnO2 ゾル)がIn2 O3 微粉体の表面や空隙に均一に分散した状態で析出して空隙を充填すると共にSO2 -In2 O3 の相互作用が極めて強固な粒子となる。メカノケミカル機構により、均一かつ高密度で表面活性に優れた易焼結性の複合粒子が得られる。内部歪がなく、著しく高密度かつ低抵抗、均一組成で、機械的強度及び電気的特性に優れたITO焼結体を製造できる。

請求項（抜粋）：

酸化インジウム微粉体が分散していると共に、スズ塩が溶解している液を媒体攪拌型分散機内に収容する工程と、該媒体攪拌型分散機を作動させた状態において、前記液中にアンモニア水を添加して、酸化インジウム微粉体の表面に水酸化スズを析出させる工程と、この粒子を回収して成形し、焼成する工程とを備えてなるITO焼結体の製造方法において、該媒体攪拌型分散機の粉砕媒体としてZrO2 ビーズを用いることを特徴とするITO焼結体の製造方法。

IPC (4件)：

C04B 35/457 ,  C04B 35/495 ,  C23C 14/34 ,  H01B 13/00 503

FI (4件)：

C04B 35/00 R ,  C23C 14/34 A ,  H01B 13/00 503 B ,  C04B 35/00 J