特許
J-GLOBAL ID：200903049251351699
露光装置の位置合わせ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-061126
公開番号（公開出願番号）：特開平5-226224
出願日： 1992年02月17日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：
【要約】【目的】 ダイクロイックミラーを介してアライメント用の照明光を入射してアライメントを行う場合に、その照明光の光量の損失を少なくする。【構成】 光源3からのアライメント用の照明光ALを偏光ビームスプリッター9で反射して、この反射後の照明光ALを1/4波長板10、位相補償板31、シリンドリカルレンズ32、第1対物レンズ6及びダイクロイックミラー2を介してレチクルR上に照射する。位相補償板31によりダイクロイックミラー2における円偏光の位相の乱れを補償する。
請求項（抜粋）：
露光用光源からの露光光をダイクロイックミラーを介して第1物体に照明し、該第1物体のパターンを第2物体上に露光する際に、前記第1物体と第2物体との相対的な位置合わせを行う露光装置の位置合わせ装置において、前記ダイクロイックミラーを前記露光光とは異なる方向から介して前記第1物体及び第2物体の各アライメントマークを照明する送光系と、前記ダイクロイックミラーを介して戻って来る前記第1物体及び第2物体の各アライメントマークからの光を受光する受光系と、前記送光系から前記ダイクロイックミラーに向かうアライメント光と前記ダイクロイックミラーから前記受光系に向かうアライメント光とを分離する偏光ビームスプリッターと、該偏光ビームスプリッターと前記ダイクロイックミラーとの光路間に配置された4分の1波長板と、該4分の1波長板と前記第2物体との光路間に配置され、前記ダイクロイックミラーによるアライメント光の位相の乱れを補償する位相補償手段とを設けた事を特徴とする露光装置の位置合わせ装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
