特許
J-GLOBAL ID：200903049258818711
ガラス基板検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-185724
公開番号（公開出願番号）：特開2001-050903
出願日： 2000年06月21日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：
【要約】【課題】 従来技術のシステムよりも効果的にガラス基板を検査することができる光学的検査システムを提供すること。【解決手段】 基板を検査する光学的検査ステーション。基板は、第1の表面および第2の表面を含む。光は、基板の第1の表面と第2の表面の両方から反射される。第1の表面から反射された光は光検出器によって検出される。制御装置が、検出された光から第1の表面の表面特性を決定する。このシステムは、第2の表面から反射された光をフィルタリングして除く空間フィルタを含む。空間フィルタは、第2の表面から反射された光によって生じる光雑音を排除する。
請求項（抜粋）：
第1の表面および第2の表面を有し、第1の表面がある表面特性を有する基板を検査する光学的検査システムであって、第1の表面および第2の表面から光を反射させる光源と、第2の表面から反射された光をフィルタリングして除く空間フィルタと、第1の表面から反射された光を検出する第1の光検出器と、前記第1の光検出器に結合され、検出された光から表面特性を決定することができる制御装置とを備える光学的検査システム。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 21/95 A
, G11B 5/84 C
, G11B 5/84 Z
