特許
J-GLOBAL ID：200903049260106354
表面弾性波デバイス
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-128858
公開番号（公開出願番号）：特開平8-307192
出願日： 1995年04月28日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：
【要約】【目的】 長時間に亙って高温に晒されても、接合強度が時間と共に低下しない長寿命の表面弾性波デバイスを得るにある。【構成】 表面に少なくともアルミニウムを含む材料からなるくし歯状電極3,4を積層しかつ同くし歯状電極3,4の電極パッド3a,4aにAuバンプ2を配置したデバイスチップ1を、フェイスダウンボンディングによりパッケージベースXの内部に固定する表面弾性波デバイスにおいて、前記電極パッド3a,4aの表面をNi,Pd,Pt等からなるバリア層6で被覆し、同バリア層6の表面にAuバンプ2を溶着した表面弾性波デバイス。
請求項（抜粋）：
表面に少なくともアルミニウムを含む材料からなるくし歯状電極を形成しかつ同くし歯状電極の電極パッドにAuバンプを配置したデバイスチップを、フェイスダウンボンディングによりパッケージベースの内部に固定する表面弾性波デバイスにおいて、前記電極パッドの表面をNi,Pd,Pt等からなる接合上有害な層を形成しないバリア層で被覆し、同バリア層の表面にAuバンプを溶着したことを特徴とする表面弾性波デバイス。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H03H 9/145 D
, H03H 9/145 C
, H03H 9/25 A
