特許

J-GLOBAL ID：200903049265110953

干渉計装置

発明者： 小林 富美男
出願人/特許権者： 富士写真光機株式会社
代理人 (1件)： 柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-063502
公開番号（公開出願番号）：特開平7-270115
出願日： 1994年03月31日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【目的】 フィゾー型の干渉計装置において、基準面からの参照光と被検面からの物体光との光路差をキャンセルする光路差調整光学系を設けることにより、可干渉性があまり良好でない光を用いても鮮明度に優れた干渉縞を得ることができるようにする。【構成】 偏光ビームスプリッタ5と結像レンズ11との間にビームスプリッタ13および2つの反射ミラー14a,b からなる光路差調整光学系15を備えている。ビームスプリッタ13をTVカメラ12方向に最初に透過した光と、2つの反射ミラー14a,b により反射され、これらミラー14a,b の間を1往復した後ビームスプリッタ13からTVカメラ12方向に射出された光とがちょうど基準平面8aと被検面9aとの距離により生じた物体光と参照光の光路差Lに等しい光路差を有するように設定されている。

請求項（抜粋）：

可干渉光を、基準板の基準面を介して被検体の被検面に入射せしめ、該可干渉光の、該被検面における反射により生じた物体光と前記基準面における反射により生じた参照光との光干渉により生じる干渉縞を所定の干渉縞形成面上に形成する干渉計装置において、前記物体光と、この物体光と重ね合わされた前記参照光を互いに分離し、この後これら物体光と参照光を再び重ね合わせるまでにこの参照光が前記物体光よりも、前記基準面と前記被検面との距離の2倍に相当する光路長Lだけ長い光路長を有するように前記物体光と前記参照光を導く光路差調整光学系を前記基準板と前記干渉縞形成面との間に配設したことを特徴とする干渉計装置。