レジスト組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-161500
公開番号（公開出願番号）：特開2001-151824
出願日： 2000年05月31日
公開日（公表日）： 2001年06月05日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】化学増幅型レジスト組成物を用いた矩形性の有る超微細パターンが得られるレジスト組成物の提供。【解決手段】下記一般式[1]で示されるポリマー。及び該ポリマーを含むレジスト組成物。[式中、R1は水素原子又はメチル基を表し、R2及びR3は、水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基を表し、R4は、炭素数1〜6のアルキル基、アラルキル基、又はフェニル基を表す。R5は、水素原子、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数1〜6のアルコキシ基、tert-ブトキシカルボニルオキシ基、テトラヒドロピラニルオキシ基、アセチルオキシ基又は-OCH2COOC(CH3)3を表す。R6は水素原子またはシアノ基を表し、R7は-COOR8(但し、R8は炭素数1〜6のアルキル基又は炭素数7〜12の有橋脂環式炭化水素基を表す)、シアノ基又は下記一般式[8](但し、R9は水素原子、炭素数1〜6のアルキル基又は炭素数1〜6のアルコキシ基を表す。)を表す。

請求項（抜粋）：

下記一般式[1]で示されるポリマー。【化1】[式中、R<SP>1</SP>は水素原子又はメチル基を表し、R<SP>2</SP>及びR<SP>3</SP>は、夫々独立して水素原子又は炭素数1〜6の直鎖状若しくは分岐状のアルキル基を表し(但し、R<SP>2</SP>及びR<SP>3</SP>が共に水素原子である場合を除く。)、R<SP>4</SP>は、炭素数1〜6の直鎖状、分岐状若しくは環状のアルキル基、アラルキル基、又はフェニル基を表す。尚、R<SP>2</SP>とR<SP>3</SP>、R<SP>2</SP>とR<SP>4</SP>、又はR<SP>3</SP>とR<SP>4</SP>とで環を形成しても良い。R<SP>5</SP>は、水素原子、炭素数1〜6の直鎖状、分岐状若しくは環状のアルキル基、炭素数1〜6の直鎖状、分岐状若しくは環状のアルコキシ基、tert-ブトキシカルボニルオキシ基、テトラヒドロピラニルオキシ基、アセチルオキシ基又は-OCH<SB>2</SB>COOC(CH<SB>3</SB>)<SB>3</SB>を表す。R<SP>6</SP>は水素原子またはシアノ基を表し、R<SP>7</SP>は-COOR<SP>8</SP>(但し、R<SP>8</SP>は炭素数1〜6の直鎖状、分岐状若しくは環状のアルキル基又は炭素数7〜12の有橋脂環式炭化水素基を表す)、シアノ基又は一般式[8]【化2】(但し、R<SP>9</SP>は水素原子、炭素数1〜6の直鎖状、分岐状若しくは環状のアルキル基又は炭素数1〜6の直鎖状、分岐状若しくは環状のアルコキシ基を表す。)を表す。尚、R<SP>6</SP>とR<SP>7</SP>とで-CO-O-CO-、-CO-NR<SP>10</SP>-CO-(但し、R<SP>10</SP>は水素原子、炭素数1〜6の直鎖状、分岐状若しくは環状のアルキル基又は炭素数1〜6の直鎖状、分岐状若しくは環状のアルコキシ基を表す)を形成していてもよい。また、kは正の整数を表し、l、m及びnは夫々独立して0または正の整数を表す(但し、0.1≦k/(k+l+m+n)≦0.9、0≦l/(k+l+m+n)≦0.9、0≦m/(k+l+m+n)≦0.8、及び0≦n/(k+l+m+n)<0.1であって、lとmとが共に0である場合を除く。)。]

IPC (7件)：

C08F212/14 , C08F220/10 , C08F220/30 , C08K 5/36 , C08L 25/18 , G03F 7/039 601 , G03F 7/38 512

FI (7件)：

C08F212/14 , C08F220/10 , C08F220/30 , C08K 5/36 , C08L 25/18 , G03F 7/039 601 , G03F 7/38 512

Fターム (68件)：

2H025AA03 , 2H025AB16 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BG00 , 2H025CC03 , 2H025CC20 , 2H025DA11 , 2H025FA03 , 2H025FA12 , 2H025FA41 , 2H096AA25 , 2H096BA11 , 2H096BA20 , 2H096EA05 , 2H096FA01 , 2H096FA04 , 2H096GA37 , 2H096JA03 , 2H096KA06 , 4J002BC121 , 4J002BG021 , 4J002BG071 , 4J002BG091 , 4J002BH021 , 4J002BQ001 , 4J002EQ016 , 4J002EV216 , 4J002EV236 , 4J002EV296 , 4J002FD206 , 4J002GP03 , 4J100AB02Q , 4J100AB02R , 4J100AB04Q , 4J100AB04R , 4J100AB07P , 4J100AB07Q , 4J100AB07R , 4J100AB07S , 4J100AK32R , 4J100AL03R , 4J100AL04R , 4J100AL08R , 4J100AM01R , 4J100AM07R , 4J100AM42R , 4J100BA02P , 4J100BA02Q , 4J100BA02R , 4J100BA03S , 4J100BA04P , 4J100BA04Q , 4J100BA15Q , 4J100BA22Q , 4J100BC01P , 4J100BC01R , 4J100BC04R , 4J100BC07R , 4J100BC09R , 4J100BC43P , 4J100BC53P , 4J100BC53Q , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100CA06 , 4J100JA38

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