研磨剤及びその製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-248898
公開番号（公開出願番号）：特開2000-079564
出願日： 1998年09月03日
公開日（公表日）： 2000年03月21日
要約：

【要約】【課題】高い研磨性能を有する研磨剤を安価に製造することが出来、さらに研磨剤廃棄物の処理と減量化に貢献し得る研磨剤およびその製造方法の提供。【解決手段】使用済みの研磨剤と不純物とが混在する研磨剤廃棄物を基材とし、研磨剤の基材以外の不純物を除去する物理的処理工程と、不純物を除去した基材を温度1000〜1700°Cの範囲内での熱処理工程と、熱処理工程後の基材を粉砕処理し規定値内の粒子径に分ける分級工程を備えた製造方法によれば、製造歩留が高く、生産性や量産性高く製造することができ、さらに、安価で安定した新しい品質の研磨剤が得られる。

請求項（抜粋）：

研磨剤の基材として、使用済みの溶融アルナ(Al2O3)成分とジルコン(ZrSiO4)成分の混合物から成る研磨剤と研磨によって発生した不純物とが混在する研磨剤廃棄物を研磨剤の基材とし、前記、研磨剤廃棄物から研磨剤の基材以外の不純物を除去する物理的処理工程と、前記、不純物を除去した研磨剤廃棄物の基材を温度1000〜1700°Cの範囲内での熱処理工程と、前記、熱処理工程後の研磨剤廃棄物の基材を粉砕処理し規定値内の粒子径に分ける分級工程から成る事を特徴とした研磨剤の製造方法。

IPC (5件)：

B24D 3/00 , B24B 37/00 , C09K 3/14 550 , C09K 3/14 , H01L 21/304 321

FI (5件)：

B24D 3/00 , B24B 37/00 H , C09K 3/14 550 D , C09K 3/14 550 C , H01L 21/304 321

Fターム (15件)：

3C058AA07 , 3C058AA09 , 3C058CA04 , 3C058CA05 , 3C058CA06 , 3C058DA02 , 3C063BB01 , 3C063BB03 , 3C063BB07 , 3C063BB19 , 3C063CC04 , 3C063EE10 , 3C063EE15 , 3C063EE16 , 3C063FF23

引用特許：

審査官引用 (6件)

砥粒組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-251711 出願人：株式会社フジミインコーポレーテッド
特開昭62-039683
アルミナ-ジルコニア質焼結砥粒およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-080638 出願人：昭和電工株式会社

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