特許
J-GLOBAL ID：200903049271291773
導電性有機薄膜
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-342628
公開番号（公開出願番号）：特開平6-192440
出願日： 1992年12月22日
公開日（公表日）： 1994年07月12日
要約：
【要約】【目的】 機械的強度および耐熱性にすぐれ、特に電離放射線リソグラフィーにおいて微細かつ高精度のパターン形成を可能とする帯電防止用導電膜などに好適な極薄の導電性薄膜を提供すること。【構成】 導電性部位を有するポリイオンコンプレックス型のラングミュア・ブロジェット膜からなることを特徴とする導電性有機薄膜。
請求項（抜粋）：
導電性部位を有するポリイオンコンプレックス型のラングミュア・ブロジェット膜からなることを特徴とする、導電性有機薄膜。
IPC (5件)：
C08J 5/18
, B01J 19/00
, B05D 1/20
, B05D 7/24 302
, H01L 21/027
