研磨装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：原謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-215064
公開番号（公開出願番号）：特開平6-055426
出願日： 1992年08月12日
公開日（公表日）： 1994年03月01日
要約：

【要約】【構成】ガラス基板1の端部を研磨する。円盤状の砥石8が回転可能に設けられる。砥石8の外周面には研磨加工形状の溝10が形成される。ガラス基板1が砥石8の外周面に端部を沿わせて接線方向に移動可能に設けられている。【効果】砥石8はガラス基板1の移動方向に対して平行に回転するため、ガラス基板1の欠けや割れを防止し、歩留まりの向上を図ることができる。また、ガラス基板1の端部を複数の傾斜面に一度に面取りすることができるので、工数の低減を図ることができる。

請求項（抜粋）：

被研磨板の端部を研磨する研磨装置において、円盤状の研磨材が回転可能に設けられ、かつ、研磨材の外周面には研磨加工形状の溝が形成される一方、被研磨板が研磨材の外周面に端部を沿わせて接線方向に移動可能に設けられていることを特徴とする研磨装置。

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