XY移動用アクチュエータおよび半導体接続装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤強
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-034754
公開番号（公開出願番号）：特開平10-234174
出願日： 1997年02月19日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：

【要約】【課題】本発明は、小形・軽量で、高速・高精度化を図る。【解決手段】 XY移動用アクチュエータ12の上にはボンディングヘッド部13が設けられている。XY移動用アクチュエータ12は、固定子14と移動子15とを有している。固定子14の固定子ヨーク16には第1のコイル17と第2のコイル18とが直交するように巻回され、これらは樹脂モールドされた外体19により覆われている。移動子15の移動子ヨーク20には単極着磁のマグネット21が嵌入配設されている。支持手段としてエア噴出ノズル部22はフレーム11および固定子14に、下から上にエアを噴き出し得るように多数形成されている。

請求項（抜粋）：

平板状の固定子ヨークとこの固定子ヨークに巻回された第1のコイルと前記固定子ヨークに前記第1のコイルとほぼ直交する向きに巻回された第2のコイルとからなる固定子と、この固定子と対向するように配置され、平板状のヨークと単極に着磁された平板状のマグネットとからなる移動子と、前記移動子を移動自在に支承する支持手段とを備え、前記第1のコイルと第2のコイルとの通電制御により移動子を移動させるようにしてなるXY移動用アクチュエータ。

引用特許：

審査官引用 (7件)

位置決め装置及び該装置を備えた露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-224704 出願人：株式会社ニコン
特開平3-296112
特開平4-012657

全件表示

前のページに戻る