プラズマディスプレイパネルの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：曾我道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-333447
公開番号（公開出願番号）：特開平7-192626
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：

【要約】【目的】バリアリブの裾のダレ、ニジミ、高さの不均一性を解消し、バリアリブを大面積にしかも高精度に形成できる作業性の良いプラズマディスプレイパネルの製造方法を得る。【構成】パターンマスクを介して感光性フィルムを露光し、現像して所定のパターンを形成した後に熱処理を行い、しかる後、パターン間にバリアリブ用のガラスペーストを埋め込み低温乾燥させ、次に、ペースト中に含む熱硬化樹脂を硬化させ、外力に対するバリアリブの形状の保護を行う。その後、表面洗浄、感光性フィルムのアルカリ溶液中での剥離、洗浄、焼成の各処理を順次行う。ここで、バリアリブ用のペースト中には形状保護材として80〜150°Cの温度で硬化するアクリル系樹脂を20〜50wt%し、感光性フィルムのアルカリ溶液剥離時の形状の破損を防ぐ。

請求項（抜粋）：

対向する平面板上に整列配置した複数の電極とマトリクス状に交差する複数の電極が整列配置された平面板上に感光性フィルムの層を設け、パタ-ンマスクを介して上記感光性フィルムを露光した後、現像して上記電極及びバリアリブを形成しない部分にのみ感光性フィルムが残るようにパタ-ンを形成する工程と、パターニングされた感光性フィルムのギャップ部へバリアリブ材を埋め込む工程と、上記ギャップ部へバリアリブ材を埋め込んだ後、上記感光性フィルムを剥離液に浸漬することにより剥離除去する工程と、剥離除去後に焼成する工程とを順次行ってバリアリブを形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、上記バリアリブ材として、主成分の無機材料に対して、熱的もしくは化学的に一定の条件下で硬化する樹脂を重量比で20wt%〜50wt%の割合にて混合したことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平2-165540
特開平3-112035
特開平3-001421

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