特許
J-GLOBAL ID：200903049306791278
ノズルプレート、液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
増田 達哉
, 朝比 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-268943
公開番号（公開出願番号）：特開2006-082362
出願日： 2004年09月15日
公開日（公表日）： 2006年03月30日
要約：
【課題】撥液性と耐久性とに優れる撥液膜を備えるノズルプレート、信頼性の高い液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置を提供すること。【解決手段】ノズルプレート11は、液滴を吐出する複数のノズル孔111が形成された基板112と、その液滴を吐出する側の面に少なくともノズル孔111の周囲を囲むように設けられた撥液膜113とを備える。撥液膜113は、少なくとも表面付近がフッ素原子とシリコン原子とを含む物質を主材料として構成される撥液性粒子を用いて形成され、撥液性粒子は、その表面をX線光電子分光分析法で測定したとき、得られたスペクトルにおいて、92〜110eVの範囲でかつ87eVでの値と115eVでの値とを結ぶベースラインより上の範囲の面積をXとし、680〜695eVの範囲でかつ675eVでの値と700eVでの値とを結ぶベースラインより上の範囲の面積をYとしたとき、Y/Xが1/50〜1なる関係を満足する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
液滴を吐出する複数のノズル孔が形成された基板と、該基板の前記液滴を吐出する側の面に、少なくとも前記ノズル孔の周囲を囲むように設けられた撥液膜とを備えるノズルプレートであって、
前記撥液膜は、少なくとも表面付近がフッ素原子とシリコン原子とを含む物質を主材料として構成される撥液性粒子を用いて形成されたものであり、
前記撥液性粒子は、その表面をX線光電子分光分析法で測定したとき、得られたスペクトルにおいて、92〜110eVの範囲で、かつ、87eVでの値と115eVでの値とを結ぶ第1のベースラインより上の範囲の面積をXとし、680〜695eVの範囲で、かつ、675eVでの値と700eVでの値とを結ぶ第2のベースラインより上の範囲の面積をYとしたとき、Y/Xが1/50〜1なる関係を満足するものであることを特徴とするノズルプレート。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (14件)：
2C057AF65
, 2C057AF93
, 2C057AG07
, 2C057AG12
, 2C057AN01
, 2C057AP02
, 2C057AP13
, 2C057AP52
, 2C057AP55
, 2C057AP57
, 2C057AP58
, 2C057AP60
, 2C057BA04
, 2C057BA14
