特許

J-GLOBAL ID：200903049313598734

固体撮像素子及びその製造方法

発明者： 福所 孝
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-348810
公開番号（公開出願番号）：特開平10-189936
出願日： 1996年12月26日
公開日（公表日）： 1998年07月21日
要約：

【要約】【課題】 面積効率の高い素子レイアウトを採用し、さらに加工ダメージやスミアを防止することにより、素子の小型化を図っても充分な感度が得られ、かつ良好な画質が得られる固体撮像素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】 転送電極12a,12bの全部を覆って遮光膜を兼ねる読み出しゲート電極17が、半導体領域11内に入り込んで形成され、読み出しゲート電極17に、転送電極12a,12bとは独立の読み出し電圧を印加する固体撮像素子21を構成する。

請求項（抜粋）：

転送電極の全部を覆って遮光膜を兼ねる読み出しゲート電極が、半導体領域内に入り込んで形成され、上記読み出しゲート電極に、上記転送電極とは独立の読み出し電圧を印加することを特徴とする固体撮像素子。

IPC (3件)：

H01L 27/148 ,  H01L 27/14 ,  H04N 5/335

FI (3件)：

H01L 27/14 B ,  H04N 5/335 F ,  H01L 27/14 D