特許

J-GLOBAL ID：200903049314993807

プラズマ発生装置

発明者： 高橋 清 ,  村松 文雄 ,  竹田 智彦 ,  折付 良二
出願人/特許権者： 国際電気株式会社 ,  株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-348907
公開番号（公開出願番号）：特開平5-160036
出願日： 1991年12月05日
公開日（公表日）： 1993年06月25日
要約：

【要約】【目的】プラズマ発生装置に於いて、プラズマの均一性を向上させると共に合わせてプラズマ発生室の清掃作業の作業性を向上させる。【構成】プラズマ発生室25の内壁を着脱容易な絶縁性の壁18,19,21,22で覆い、プラズマ分布を均一化し、又清掃時には絶縁性の壁の着脱で、清掃作業性を改善する。

請求項（抜粋）：

プラズマ発生室の内壁を着脱容易な絶縁性の壁で覆ったことを特徴とするプラズマ発生装置。