特許

J-GLOBAL ID：200903049319813076

ディスク外周部検査装置

発明者： 岩本 慶太 ,  人見 勇 ,  山本 雅裕 ,  西根 浩一 ,  河島 貞夫
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 本庄 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-140837
公開番号（公開出願番号）：特開平5-334837
出願日： 1992年06月02日
公開日（公表日）： 1993年12月17日
要約：

【要約】【目的】 ディスク外周部に形成されたチャンファ部及び端面の欠陥検査を可能にし,欠陥部分からの反射光のみを検出して安定した欠陥検出を可能にするディスク外周部検査装置を提供する。【構成】 回転装置10に被検査用のディスク2を装着して回転駆動させ,該ディスク2の外周部に形成された端面及び上下チャンファ部に対し投光器3から平行光を投射することにより,端面及びチャンファ部に形成された加工条痕により発生する反射回析光と疵等により発生する散乱光とが生じるので,端面及び各チャンファ部からの反射光を空間フィルタ7,8,9により回析光を遮断し散乱光のみを通過させて各受光器4,5,6で受光すると疵等による散乱光の光量に対応した電気信号が得られるので,受光器から出力された電気信号を増幅すると共に,信号処理して信号レベルから欠陥の大きさを判定することができる。

請求項（抜粋）：

回転装置に被検査用のディスクを装着して回転駆動させ,該ディスクの外周部に形成された端面及び上下チャンファ部に対し投光器から平行光を投射し,その反射光を受光器で受光して電気信号に変換し,該電気信号を解析することにより前記ディスク外周部の欠陥を検出するディスク外周部検査装置において,前記ディスク外周部の端面及び上下チャンファ部に対し,該ディスクの回転軸と直交する方向から平行光を投射する投光器と,前記投光器により照射された前記端面からの反射光を受光して電気信号に変換する第1の受光器と,前記投光器により照射された前記各チャンファ部からの反射光をそれぞれ受光して電気信号に変換する第2,第3の受光器と,を具備してなることを特徴とするディスク外周部検査装置。

IPC (5件)：

G11B 23/00 ,  G01B 11/30 ,  G01J 1/00 ,  G11B 5/00 ,  G11B 5/84