塗布装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-258394
公開番号（公開出願番号）：特開平7-108207
出願日： 1993年10月15日
公開日（公表日）： 1995年04月25日
要約：

【要約】【構成】スライドビードコーター、カーテンコーター又はエクストルージョンコーター等塗布液供給スリットを有する塗布装置において、該塗布液供給スリット表面の少なくも一部が表面粗さ(中心線表面粗さ)0.1μm以下であることを特徴とする塗布装置により達成。【効果】スリット及び切り欠き部への凝集物や異物が付着するのを抑制し、長時間にわたりそれに伴う筋故障を防止できる塗布装置の提供。

請求項（抜粋）：