特許

J-GLOBAL ID：200903049328172393

はっ水、はつ油被膜およびその形成方法

発明者： 荒瀬 良和
出願人/特許権者： 石川島播磨重工業株式会社
代理人 (1件)： 島村 芳明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-246984
公開番号（公開出願番号）：特開2000-070836
出願日： 1998年09月01日
公開日（公表日）： 2000年03月07日
要約：

【要約】【課題】 金属やガラスの表面にはっ水、はつ油被膜を形成する。【解決手段】 スパッタ法、イオンプレーライング法、CVD法のいずれかにより基材1表面に薄い黒鉛膜2形成する工程と、CF4 ガスを用いた低温プラズマ処理によって発生するラジカルなフッ素原子を上記黒鉛膜表面の炭素と化学結合させて、黒鉛膜2表面にCF3 基3を密に形成する工程とを有する。

請求項（抜粋）：

基材の表面に形成した薄い黒鉛膜の表面に高密度にCF3 基を形成したことを特徴とするはっ水、はつ油被膜。

IPC (6件)：

B05D 3/10 ,  B05D 5/08 ,  C03C 17/28 ,  C23C 14/06 ,  C23C 16/30 ,  C08G 85/00

FI (6件)：

B05D 3/10 E ,  B05D 5/08 Z ,  C03C 17/28 A ,  C23C 14/06 G ,  C23C 16/30 ,  C08G 85/00