特許
J-GLOBAL ID：200903049328754848
微細電子デバイスの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
中島 淳
, 加藤 和詳
, 西元 勝一
, 福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-429567
公開番号（公開出願番号）：特開2005-191214
出願日： 2003年12月25日
公開日（公表日）： 2005年07月14日
要約：
【課題】 有機物や生体分子を使った良質な微細な電子デバイスを、安価に効率よく作製可能な製造方法を提供すること。【解決手段】まず、カーボンナノチューブ10及び有機物又は生体分子の機能性材料12をデバイス化するために、第1ステップとしてカーボンナノチューブ10を基板18に載置する。カーボンナノチューブ10(CNT)を電極として利用するために、第2ステップとして載置されたカーボンナノチューブ10の任意の部位に集束イオンビーム20(FIB)を照射し、集束イオンビーム20を当てた部位を切断して電極対を作製する。そして、第3ステップとしてカーボンナノチューブ10の切断部位22(電極対間の間隙)に、有機物又は生体分子の機能性材料12を配置又は生成し、切断部位22を接合する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板にカーボンナノチューブを載置するステップと、
載置された前記カーボンナノチューブの任意の部位に集束イオンビームを照射し、該集束イオンビームを当てた部位を切断するステップと、
前記カーボンナノチューブの切断部位に、有機物又は生体分子を配置又は生成し、当該切断部位を接合するステップと
を有することを特徴とする微細電子デバイスの製造方法。
IPC (3件)：
H01L29/06
, B82B3/00
, H01L29/786
H01L29/06 601N
, B82B3/00
, H01L29/78 618B
5F110AA16
, 5F110BB03
, 5F110CC10
, 5F110DD01
, 5F110DD05
, 5F110EE08
, 5F110FF02
, 5F110FF23
, 5F110GG01
, 5F110GG05
, 5F110GG28
, 5F110GG42
, 5F110HK01
, 5F110QQ16
