特許

J-GLOBAL ID：200903049330630579

静電チャック

発明者： 会田 比呂史 ,  福留 武郎 ,  三上 一彦 ,  伊東 裕見子
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-350075
公開番号（公開出願番号）：特開平10-189698
出願日： 1996年12月27日
公開日（公表日）： 1998年07月21日
要約：

【要約】【課題】200°C以下の温度雰囲気下においてジョンソン・ラーベック力による高い吸着力が得られる窒化アルミニウム製静電チャックを提供する。【解決手段】静電チャックの吸着面を窒化アルミニウムを主相とし、窒化チタンを12〜40容量%とイットリウム、エルビウム、イッテルビウムのうち少なくとも1種を酸化物換算で1〜8容量%含有してなる窒化アルミニウム質焼結体、又は窒化アルミニウムを主相とし、窒化チタンを5〜20容量%とニッケルを酸化物換算で0.1〜10容量%含有してなる窒化アルミニウム質焼結体により形成する。

請求項（抜粋）：

被固定物を吸着保持する吸着面が、窒化アルミニウムを主相とし、窒化チタンを12〜40容量%含有するとともに、さらにイットリウム、エルビウム、イッテルビウムのうち少なくとも一種を酸化物換算で1〜8容量%含有してなる窒化アルミニウム質焼結体からなることを特徴とする静電チャック。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  C04B 35/581 ,  H02N 13/00

FI (3件)：

H01L 21/68 R ,  H02N 13/00 D ,  C04B 35/58 104 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-003956
  
• 特開平2-022166
  
• 耐蝕性部材およびウエハ保持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-014820   出願人：京セラ株式会社
• セラミックス製静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-193020   出願人：信越化学工業株式会社