特許

J-GLOBAL ID：200903049334315813

静電アクチュエータ

発明者： 矢野 雅文 ,  河野 明夫 ,  深谷 典行 ,  岸田 秀雄
出願人/特許権者： 矢野 雅文 ,  シャープ株式会社 ,  大阪瓦斯株式会社 ,  株式会社ヤマトヤ商会 ,  日本真空技術株式会社
代理人 (1件)： 西教 圭一郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-347218
公開番号（公開出願番号）：特開平5-184162
出願日： 1991年12月27日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 零またはごくわずかな摩擦力で駆動することができるようにした静電力を利用した空間保持装置を提供する。【構成】 固定子1には、移動方向に第1A1,A2,A3、第2B1,B2,B3および第3電極C1,C2,C3から成る複数の各第1組合せ領域G11,G12,G13を順次的に設け、移動子2は、第1、第2および第3電極に対向する電気絶縁層上に、第1D1,D2および第2エレクトレットE1,E2から成る第2組合せ領域G21,G22を設ける。電源によって第1、第2および第3電極に周期的に変化する各電圧を与えることによって、移動子を静電吸引力および静電反発力によって移動させる。

請求項（抜粋）：

間隔をあけて配置されかつ相対的に予め定める移動方向に移動自在に第1手段と第2手段とが設けられ、第1手段は、移動方向に隣接して第1、第2および第3電極から成る第1組合せ領域が設けられて構成され、第2手段は、移動方向に延びる電気絶縁層の表面に、移動方向に隣接して第1および第2エレクトレットから成る第2組合せ領域が設けられて構成され、第1および第2エレクトレットにそれぞれ帯電されている電荷は相互に逆極性であり、第1、第2および第3電極には、第1手段と第2手段とが静電力によって移動方向に移動するための電圧を与える電源が接続されることを特徴とする静電アクチュエータ。