特許
J-GLOBAL ID:200903049339860496
反射防止膜を有する光学部品
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
笹島 富二雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-249510
公開番号(公開出願番号):特開平5-085778
出願日: 1991年09月27日
公開日(公表日): 1993年04月06日
要約:
【要約】【目的】光学部品基板表面に反射防止膜を形成する前に行う基板表面のヤケや傷の除去用研摩工程をなくすことを目的とする。【構成】光学部品基板表面に形成する反射防止膜の、基板表面に最も近い第1層を、SiOx 膜とし、且つその膜厚ndを0.25λ0 ≦nd(λ0 は設計波長)とする。こうすることにより、前記SiOx 膜を通して光学部品基板表面を見た時に、ヤケや傷等を目立たせなくすることができ、ヤケや傷等の除去研摩工程を省略することが可能となる。
請求項(抜粋):
光透過性の光学部品基板の表面に、複数の誘電体膜を積層して反射防止膜を形成し、該反射防止膜の最も基板側に近い第1層の組成を、酸化ケイ素(SiOx ,x:1≦x≦2)とし、その膜厚ndを、0.25λ0 ≦nd(λ0 は設計波長)としたことを特徴とする反射防止膜を有する光学部品。
IPC (2件):
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