特許

J-GLOBAL ID：200903049347432096

コンフォーカル顕微鏡

発明者： 楠瀬 治彦
出願人/特許権者： レーザーテック株式会社
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-223306
公開番号（公開出願番号）：特開2002-040329
出願日： 2000年07月25日
公開日（公表日）： 2002年02月06日
要約：

【要約】【課題】コンフォーカル光学系によって試料の反射像と透過像とが高い相関関係で同時に得られるコンフォーカル顕微鏡を提供する。【解決手段】レーザ31からのレーザビームを走査ミラー35によりX方向に偏向した後、第1の対物レンズ38でスポットとして試料39に投射し、試料を透過したレーザビームを第2の対物レンズ41で収束し、その結像面に配置されたミラー44で反射させて試料に戻す。試料で反射されるレーザビームを走査ミラーでデスキャンした後、反射光受光素子46に結像させる。試料に戻されて透過したレーザビームを走査ミラーでデスキャンした後、透過光受光素子48に結像させる。これらの受光素子46、48を、第1の対物レンズ38に対してレーザ31と共役な位置に配置してコンフォーカル光学系を構成する。

請求項（抜粋）：

少なくとも1本の光ビームを発する光源手段と、この光源手段からの光ビームを少なくとも1方向に偏向する偏向手段と、この偏向手段によって偏向された光ビームをスポットとして試料に投射する第1の対物レンズと、この試料を透過した光ビームを収束する第2の対物レンズと、この第2の対物レンズの結像面に配置された反射部材と、前記第1の対物レンズで試料に投射され、試料から反射された後、前記偏向手段で偏向される第1の光ビームと、前記反射部材で反射され、前記第2の対物レンズによって試料上に再びスポットとして投射され、試料を透過後、前記第1の対物レンズで収束され、前記偏向手段によって偏向される第2の光ビームとを受け、これら第1および第2の光を分離する光分割手段と、前記第1の対物レンズに対して前記光源手段と共役な位置に配置され、前記光分割手段で分割された第1の光ビームを受けて、試料の反射像を表す第1の画像信号を出力する第1の受光手段と、前記第1の対物レンズに対して前記光源手段と共役な位置に配置され、前記光分割手段で分割された第2の光ビームを受けて、試料の透過像を表す第2の画像信号を出力する第2の受光手段と、を具えることを特徴とするコンフォーカル顕微鏡。

IPC (5件)：

G02B 21/00 ,  G01B 11/30 ,  G02B 21/06 ,  G02B 21/36 ,  G03F 1/08

FI (5件)：

G02B 21/00 ,  G01B 11/30 A ,  G02B 21/06 ,  G02B 21/36 ,  G03F 1/08 S

Fターム (37件)：

2F065AA49 ,  2F065BB02 ,  2F065BB29 ,  2F065CC18 ,  2F065GG04 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ05 ,  2F065LL04 ,  2F065LL35 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL46 ,  2F065MM03 ,  2F065MM16 ,  2F065MM26 ,  2F065MM28 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ32 ,  2F065SS13 ,  2F065UU07 ,  2H052AA08 ,  2H052AB24 ,  2H052AC04 ,  2H052AC05 ,  2H052AC15 ,  2H052AC27 ,  2H052AC34 ,  2H052AD19 ,  2H052AF13 ,  2H052AF14 ,  2H052AF25 ,  2H095BD04 ,  2H095BD05 ,  2H095BD13 ,  2H095BD17 ,  2H095BD24

引用特許：

審査官引用 (2件)

• パターン欠陥検査装置及びレーザ顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-106191   出願人：レーザーテック株式会社
• 特開平4-027909