特許
J-GLOBAL ID：200903049356113092
基板の処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-003548
公開番号（公開出願番号）：特開平7-211680
出願日： 1994年01月18日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：
【要約】【目的】 この発明は基板に帯電した静電気を除去することができるようにした基板の処理装置を提供することにある。【構成】 基板10を処理する処理室14a〜14dおよびこの基板を搬送する搬送ロ-ラ15を有する基板の処理装置において、上記基板の搬送経路には、上記基板に接触してこの基板に帯電した電荷を除去する帯電除去ブラシ16が設けられていることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
基板を処理する処理室およびこの基板を搬送する搬送手段を有する基板の処理装置において、上記基板の搬送経路には、上記基板に接触してこの基板に帯電した電荷を除去する帯電除去手段が設けられていることを特徴とする基板の処理装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 341
, B08B 6/00
