特許

J-GLOBAL ID：200903049358269472

3次元形状測定装置

発明者： 蛭川 英男 ,  今井 義久
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
代理人 (1件)： 小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-123301
公開番号（公開出願番号）：特開平5-312538
出願日： 1992年05月15日
公開日（公表日）： 1993年11月22日
要約：

【要約】【目的】 ステージの真直度を補正して、高精度な形状測定を行える3次元形状測定装置を実現する。【構成】 被測定物を載せて形状測定点を掃引するためのステージと、このステージ上に載って前記被測定物と同一の動きをする参照面となる平面ミラーと、前記被測定物と参照用平面ミラーとの高さの差を検出する光プローブと、前記ステージの動きに対して前記参照用平面ミラーの傾きを検出する角度検出器と、前記ステージの動きを検出する位置検出器と、前記光プローブと角度検出器と位置検出器の各出力から前記被測定物の3次元形状を求める制御装置とを備え、前記角度検出器で検出した前記参照用平面ミラーの傾きの角度と前記被測定物と参照用平面ミラーとの高さの差を検出する2点間の距離との積を前記ステージの掃引における傾きの影響による値として、前記光プローブの出力から減算することにより、前記ステージの真直度を補正するようにしたことを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

被測定物を載せて形状測定点を掃引するためのステージと、このステージ上に載って前記被測定物と同一の動きをする参照面となる平面ミラーと、前記被測定物と参照用平面ミラーとの高さの差を検出する光プローブと、前記ステージの動きに対して前記参照用平面ミラーの傾きを検出する角度検出器と、前記ステージの動きを検出する位置検出器と、前記光プローブと角度検出器と位置検出器の各出力から前記被測定物の3次元形状を求める制御装置とを備え、前記角度検出器で検出した前記参照用平面ミラーの傾きの角度と前記被測定物と参照用平面ミラーとの高さの差を検出する2点間の距離との積を前記ステージの掃引における傾きの影響による値として、前記光プローブの出力から減算することにより、前記ステージの真直度を補正するようにしたことを特徴とする3次元形状測定装置。