特許
J-GLOBAL ID：200903049358593954
半導体ウエハの非接触電気測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
五十嵐 孝雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-168489
公開番号（公開出願番号）：特開平5-335393
出願日： 1992年06月02日
公開日（公表日）： 1993年12月17日
要約：
【要約】【目的】 半導体ウエハ上へのゴミの侵入を低減することができる構造の非接触電気測定装置を提供する。【構成】 半導体ウエハの電気測定時には、仕切板620は測定室MRの下に位置しており、ブロワ90から測定室MRに供給された清浄な空気を筺体下部の排気室ERに導く通気路を形成する。一方、半導体ウエハを筺体内に搬入または搬出する時には、仕切板620が搬入室TRの下に移動し、測定室MRに供給された清浄な空気は蓋32の開口部を介して外部に排出される。この仕切板620の機能により、センサヘッド60および半導体ウエハ100にゴミが付着するのを防止している。
請求項（抜粋）：
非接触で半導体ウエハの電気特性の測定を行なう非接触電気測定装置であって、(a)半導体ウエハの表面との間にギャップを隔ててほぼ平行に保持される反射面を有する透光性部材と、該反射面に隣接して形成された電気測定用電極とを備え、前記透光性部材に導入され前記反射面で反射されるレーザ光の強度に基づいて前記ギャップの測定を行なうとともに、前記電気測定用電極を用いて前記半導体ウエハの電気特性の測定を行なうためのセンサヘッドと、(b)前記半導体ウエハを載置する移動可能な試料台と、(c)開閉可能な蓋を備え前記センサヘッドと前記試料台とを収納する筺体であって、前記蓋の内部に前記試料台が位置する時に前記試料台に半導体ウエハを搬入または搬出するための搬入室と、前記搬入室に連通し前記センサヘッドの位置に設けられた測定室と、排気口を有する排気室と、を備える筺体と、(d)除塵した気体を前記測定室に供給する気体供給手段と、(e)前記試料台とともに移動する仕切り板であって、前記試料台が前記測定室に位置する時には、前記搬入室から前記排気室に続く通気路を開放し、これによって、前記測定室に供給された気体を前記搬入室を介して前記排気室に導いて放出させる一方、前記搬入室に位置する前記試料台に前記半導体ウエハを搬入または搬出する時には前記通気路を封鎖し、これによって、前記測定室に供給された気体を前記搬入室および開放された前記蓋を介して外部に放出させる仕切り板と、を備えることを特徴とする非接触電気測定装置。
IPC (2件)：
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