特許

J-GLOBAL ID：200903049360717733

光偏向素子

発明者： 川窪 功 ,  江刺 正喜
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社 ,  江刺 正喜
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-139581
公開番号（公開出願番号）：特開平8-334722
出願日： 1995年06月06日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：

【要約】【目的】 部材に複雑な加工を要せず、組立が煩雑でなく且つ安価で簡便な、良好に封止された小型の光偏向素子を提供すること。【構成】 平板状の可動板2と該板を軸支するねじりバネ3と該バネを通じ該板を支持する固定枠とを一体形成した半導体基板1と、該板の上周縁部に設けた平面コイル5と、該板の中央に設けた反射鏡4と、該半導体基板下面に設けた下側ガラス板12’と、上面に設けた1枚以上の研磨された上側ガラス板10',11' と、該上側および下側ガラス板と該固定枠とで構成された該可動板を含む密閉空間内に配置されたガス吸着材9' と、該バネのねじり軸に略平行な該平面コイルの部分において該半導体基板に平行でかつ該バネの当該回転軸方向に垂直な方向の成分を有する磁界を持つ永久磁石8とで構成される光偏向素子。

請求項（抜粋）：

平板状の可動板と前記可動板を軸支するねじりバネと前記ねじりバネを通じて前記可動板を支持する固定枠とを一体形成した半導体基板と、前記可動板の上周縁部に沿って設けられた平面コイルと、前記可動板の中央部に設けられた反射鏡と、前記半導体基板の下面に設けられた下側ガラス板と、前記半導体基板の上面に設けられた少なくとも1枚の光学研磨された上側ガラス板と、前記上側ガラス板および前記下側ガラス板と前記半導体の固定枠とで構成される前記可動板を含む密閉空間内に配置されたガス吸着材と、前記ねじりバネのねじり軸に略平行な前記平面コイルの部分において前記半導体基板面に平行でかつ前記ねじりバネの当該回転軸方向に垂直な方向の成分を有する磁界を持つ永久磁石と、を具備することを特徴とする光偏向素子。