導波路型光デバイス

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林忠 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-093500
公開番号（公開出願番号）：特開平11-295674
出願日： 1998年04月06日
公開日（公表日）： 1999年10月29日
要約：

【要約】【課題】導波路型光デバイスの更なる広帯域化、高速化を実現する。【解決手段】導波路型光デバイスの結晶基板1上には、光波が導波される入射側Y字型分岐導波路2、位相シフタ導波路4および出射側Y字型分岐導波路3が設けられている。さらに、結晶基板1の上には、誘電性材料からなるバッファ層5と、前記光波の制御を行うための進行波型電極構造を構成する信号電極(アクティブ部6およびフィーダ部7)および接地電極8,9とが設けられている。信号電極および接地電極8,9は、導波路型光デバイスが使用される環境温度での体積抵抗率が2.1×10-6Ωcm以下の材料で構成されている。

請求項（抜粋）：

電気光学効果を有する結晶基板と、該結晶基板上に設けられ、光波が導波される光導波路と、少なくとも前記光導波路の上に設けられ、誘電体材料で構成されたバッファ層と、該バッファ層の上に設けられ、前記光導波路を導波された光波の光出力強度の制御を行うための信号電極および接地電極からなる進行波電極構造とを有する導波路型光デバイスにおいて、前記進行波電極構造は1つの前記信号電極と、該1つの信号電極を挟むように配置された2つの前記接地電極とからなり、前記進行波電極構造のうちの少なくとも前記信号電極を構成する材料には、前記導波路型光デバイスが使用される環境温度での体積抵抗率が2.1×10-6Ωcm以下の材料が用いられていることを特徴とする導波路型光デバイス。

引用特許：

審査官引用 (4件)

光制御素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-000847 出願人：日本電信電話株式会社
特開昭61-267023
特開平4-010433

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