特許
J-GLOBAL ID：200903049365654721
研磨工具
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-251205
公開番号（公開出願番号）：特開平9-085605
出願日： 1995年09月28日
公開日（公表日）： 1997年03月31日
要約：
【要約】【課題】 被加工物Lに対して研磨工具を相対移動させても、研磨パッドと被加工物との接触位置が目的の位置からズレない。【解決手段】 回転軸15の延長線上を中心として支持板11上に取り付けられた略半球状の弾性部材12と、弾性部材12を覆う研磨パッド14と、回転軸15の延長線上近傍が開口し、回転軸15を中心として弾性部材12の側周を覆う弾性部材枠14とを備えている。研磨工具が被加工物Lに対してX方向に相対移動しても、弾性部材枠14が設けられているので、弾性材12は、その反対方向へほとんど弾性変形しない。
請求項（抜粋）：
被加工物に押圧されつつ相対移動して、該被加工物を研磨する研磨工具において、支持板と、前記支持板上に取り付けられた弾性部材と、前記弾性部材を覆う研磨パッドと、前記被加工物への押圧方向に対して垂直な方向成分の前記弾性部材の変形を抑える歪み変形防止手段と、を備えていることを特徴とする研磨工具。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B 13/01
, B24D 13/14 B
