熱処理装置および熱処理方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大井正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-353010
公開番号（公開出願番号）：特開平5-166743
出願日： 1991年12月18日
公開日（公表日）： 1993年07月02日
要約：

【要約】【目的】被処理体に昇降機構からの不純物によるダメージを与えずに熱処理を行うことができる熱処理装置および熱処理方法を提供することにある。【構成】被処理体が保持された被処理体保持具を昇降機構により処理容器内の所定位置に移動させて熱処理を行う熱処理装置において、前記昇降機構は外部雰囲気に配置され、かつ、前記被処理体保持具は、伸縮自在な蛇腹状の管体により外部雰囲気から遮断されて前記処理容器内と同一の雰囲気に置かれていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

被処理体が保持された被処理体保持具を昇降機構により処理容器内の所定位置に移動させて熱処理を行う熱処理装置において、前記昇降機構は外部雰囲気に配置され、かつ、前記被処理体保持具は、伸縮自在な蛇腹状の管体により外部雰囲気から遮断されて前記処理容器内と同一の雰囲気に置かれていることを特徴とする熱処理装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭62-290126
特開昭63-128711

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